2314ナノの力で挑戦！未来を照らすLED研究富樫 理恵 准教授原子を並べて材料を作る！？超高真空MBEで挑む半導体づくり研 究 例赤・緑・青を1つに！ナノコラム構造で実現する次世代マイクロLED28 1超高真空MBE装置で半導体を成長させている様子 2作製したLEDの光の強さや色を測定している様子 3作製した半導体材料の表面を電子顕微鏡で観察している様子 4超高真空MBE装置を操作している様子ナノサイズの柱構造を使って、三原色を高密度に集積した小型で高効率な次世代型マイクロLEDを開発し、未来のディスプレイへ応用。宇宙空間より高い真空中で、原子を1層ずつ積み重ねて高品質な結晶を作る、半導体材料の成長技術を研究し、新しい光デバイスに応用。私たちの研究室では、「光る半導体」の研究をしています。テレビやスマートフォンの画面に使われているLED（発光ダイオード）を、より明るく・省エネに・小型化するための材料や構造を工夫しています。特に注目しているのが、「ナノコラム」という非常に細い柱状の半導体構造です。1本の太さは髪の毛の1000分の1程度という超ミクロの世界です。こうしたナノ構造を使い、赤・緑・青の三原色を小さな面積に集めた新しいLEDを作ろうとしています。また、宇宙空間より100倍以上高い真空状態をつくる装置で原子や分子を一層ずつ積み重ねて半導体を形成する研究も行っています。材料の作製からLEDデバイスの加工・評価、顕微鏡観察、光測定まで、ものづくりと実験の楽しさが詰まった研究室です。■ 富樫理恵研究室（機能創造理工学科）
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